電磁屏蔽有兩類方案，被動屏蔽和主動屏蔽。被動屏蔽是用六面金屬板覆蓋所有墻面、天花板和地板，使整個房間處于導(dǎo)體盒子中。主動屏蔽是在設(shè)備周圍架設(shè)導(dǎo)線框架，并實(shí)時監(jiān)測外來電磁場，然后同步調(diào)節(jié)導(dǎo)線框架中的電流，產(chǎn)生與外來磁場相反的磁場，抵消外來干擾，實(shí)現(xiàn)電磁屏蔽。

　　電鏡屏蔽利用主動消磁設(shè)備產(chǎn)生和設(shè)置室雜散磁場相反相位的磁場，從而達(dá)到消除雜散磁場的目的。具體的是由磁場控制單元、一兩個交流或直流磁場傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜（三維空間線圈）組成，是一種三維的交直流磁場補(bǔ)償系統(tǒng)。傳感器測量空間環(huán)境中交直流磁場及其變化量，磁場控制單元以實(shí)時負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個線圈中的電流來創(chuàng)建一個與環(huán)境磁場變化相反的磁場信號，抵消環(huán)境磁場給電子束設(shè)備帶來的影響，恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度。

　　這是一個動態(tài)系統(tǒng),對磁場躍變自動響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。市電（50/60 Hz）頻率的交流背景磁場可被消除至75分之一；直流背景磁場可被消除至200分之一。